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磐諾A91應用--高純六氟化硫及四氟化碳的分析方案

來源:http://www.www.fcgds365.cn/news/354.html   發(fā)布時間:2017-05-31

   

磐諾儀器A91氣相色譜儀在進樣口、檢測器、輔助氣模塊都配以全進口的自動化氣體流量控制模塊。氫火焰離子化檢測器可自動點火,氫氣泄漏自動保護,安全可靠,特殊陶瓷化處理的放大板,在潮濕季節(jié)始終穩(wěn)定。配置全進口的氣體、液體閥,可自動控制,序列運行,性能穩(wěn)定、操作方便?膳渲16位液體自動進樣器。方案配置中采用當前主流的意大利進口毛細管色譜柱,性能卓越,使用壽命長,可以達到良好的分離效果及峰形,提高分析的準確性和穩(wěn)定性。

1.方案測定組分和范圍

A六氟化硫測定成分和測定范圍

測定成分

測定范圍

O2/Ar

20 ppb -50 ppm

N2

20 ppb -50 ppm

CF4

20 ppb -50 ppm

CO

20 ppb -50 ppm

CO2

20 ppb -50 ppm

C2F6

30 ppb -50 ppm

C3F8

30 ppb -50 ppm

B四氟化碳測定成分和測定范圍

測定成分

測定范圍

H2

20 ppb -50 ppm

O2/Ar

20 ppb -50 ppm

N2

20 ppb -50 ppm

CO

30 ppb -50 ppm

CH4(THC以甲烷計)

20 ppb -50 ppm

CO2

20ppb -50 ppm

SF6

20ppb -50 ppm

CH2F2

50ppb -50 ppm

CHF3

50ppb -50 ppm

C2F6

50ppb -50 ppm

2.方案流程和說明

本方案配置兩個帶吹掃十通閥,二個帶吹掃六通閥,五根不銹鋼填充色譜柱,一個氦離子檢測器,一個氦氣純化器,一個零死體積穩(wěn)壓閥組等組成。

氟化硫及四氟化碳的分析流程圖

3分析過程

(1)本流程圖處于初始狀態(tài),六氟化硫樣品沖洗定量環(huán)1,切換閥V1和V2從狀態(tài)OFF至ON,載氣1帶定量環(huán)1中的樣品進入色譜柱5A 1#中進行分離,大量的SF6從VENT 1#口放空,切換閥V2狀態(tài)從ON至OFF,O2、N2和CO在5A 2#柱中進一步分離,被F PDD檢測到。切換閥V1從狀態(tài)ON切換為OFF,閥V4狀態(tài)從OFF切換為ON,載氣2帶著定量環(huán)2中的樣品進入PQ 1#中分離,在SF6流出PQ 1#前將閥V3狀態(tài)從OFF切換為ON,載氣3帶著CF4、CH4和CO2進入PQ 2# 中進一步分離,被PDD檢測到,大量的SF6從VENT 2#口放空后,將閥V3狀態(tài)從ON切換為OFF,載氣2帶著C2F6和C3F8等氣體進入PQ 2#中分離,被F PDD檢測到。

通過外標法計算自動得到各組分含量。

分析過程結(jié)束。

(2)本流程圖處于初始狀態(tài),四氟化碳樣品沖洗定量環(huán)1,切換閥V1和V2從狀態(tài)OFF至ON,載氣1帶定量環(huán)1中的樣品進入色譜柱5A 1#中進行分離,大量的CF4從VENT 1#口放空,切換閥V2狀態(tài)從ON至OFF,O2、N2和CO、CH4在5A 2#柱中進一步分離,被F PDD檢測到。切換閥V1從狀態(tài)ON切換為OFF,閥V4狀態(tài)從OFF切換為ON,載氣2帶著定量環(huán)2中的樣品進入PQ 1#中分離,在CF4流出PQ 1#前將閥V3狀態(tài)從OFF切換為ON,載氣3帶著H2等進入PQ 2# 中進一步分離,被PDD檢測到,大量的CF4從VENT 2#口放空后,將閥V3狀態(tài)從ON切換為OFF,載氣2帶著CO2、SF6、CH2F2、和CHF3、C2F6等氣體進入PQ 2#中分離,被F PDD檢測到。通過外標法計算自動得到各組分含量。

分析過程結(jié)束。

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